Produktbereiche
Prozesschemie für Siliziumwafer |
Solarindustrie
|
Mikrolektronikindustrie
|
alkalisch
|
sauer
|
neutral
|
schaumarm
|
reinigen
|
vorreinigen
|
ätzen
|
kratzen
|
läppen
|
vereinzeln
|
texturieren
|
schleifen
|
||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Puratron®-11 |
X
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
|
Puratron®-67 |
-
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Puratron®-95 |
-
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Puratron®-85S |
X
|
-
|
-
|
X
|
-
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Puratron®-88 |
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Puratron®-39 |
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
|
Puratron®-62 |
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Puratron®-45M |
X
|
-
|
-
|
X
|
-
|
X
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Puratron®-62 Plus |
X
|
X
|
X
|
-
|
-
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Silacid |
X
|
X
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Silapur-50 |
-
|
X
|
-
|
X
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
Catron-9 |
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
X
|
|
LapSil-WF |
-
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
|
LapSil-305 |
-
|
X
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
|
CellTex |
X
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
-
|
X
|
-
|
Bei diesen Chemikalien handelt es sich um Konzentrate, die entsprechend der vorgesehenen Verwendung mit Wasser verdünnt werden. Umweltgesichtspunkten wird durch Verwendung von biologisch abbaubaren Tensiden in den Produkten entsprechend der Detergentienverordnung der EU Rechnung getragen.
Die verschiedenen Puratron®-Typen unterscheiden sich in ihren physikalisch-chemischen Eigenschaften. Wesentliche Produktunterschiede bestehen im pH-Wert, der von sauer über neutral bis alkalisch reicht sowie im unterschiedlichen Schaumverhalten. Daneben weisen einzelne Produkte besondere anwendungstechnische Eigenschaften auf, die sie für spezielle Arbeitsschritte bei der Fertigung von Halbleiterprodukten geeignet machen.
Die garantierte und auf Anforderung auch zertifizierte hohe Reinheit (sehr geringe Konzentrationen von Metallverunreinigungen) ist eine wesentliche Voraussetzung für den Einsatz dieser Produkte zur Herstellung hochwertiger Halbleiteroberflächen. Für eine reproduzierbar hohe Qualität ist weiterhin eine konstante Zusammensetzung der verwendeten Produkte sehr wichtig. Dies wird durch die geringen Prozessschwankungen bei der Herstellung der Produkte garantiert. Puratron® wird deshalb schon seit mehreren Jahrzehnten in der Mikroelektronik und der Solarindustrie mit großem Erfolg eingesetzt.